图90.1展示了激光剥蚀进样系统的结构。该系统由高能量激光器、聚焦光学系统、控制单元、样品烧蚀室以及接口装置等组成，用于将产生的气溶胶有效地输送到等离子体中。图90.1是LA-(MC-)ICP-MS激光进样系统的结构示意图。
当高能量激光束通过聚焦后照射到试样表面时，会对试样进行微区剥蚀，产生气溶胶和细微颗粒。这些粒子与从样品室底部以切线方向引入的氩气流混合，形成气溶胶，并通过连接管从样品室的顶部或侧面引出，最终到达ICP炬管，此过程中雾化器和雾室被去除。
从早期的红宝石激光到如今备受青睐的紫外激光进样系统（例如Nd:YAG 266nm激光），激光剥蚀系统在空间分辨率（小于10μm）、物质吸收率、分馏效应降低以及测量精密度提升等方面都有显著进步。以测量精密度为例，红外激光（10nm）的实际测量精密度为10%～20%，紫外激光（266nm）为2%～15%，而深紫外ArF准分子激光（193nm）可达到1%～10%。因此，紫外激光ICP-MS在测量均匀试样的精密度和准确度上，能与溶液气动雾化ICP-MS法相媲美。
准分子193nm的深紫外激光系统在降低分馏效应等方面表现更为优异，但这要求非常稳定的光学系统和更严格的操作与维护。目前，国内地质实验室较为常用的激光剥蚀系统包括Geolas 193ArF准分子激光剥蚀系统和Newwave UP 213nm紫外激光剥蚀系统。
